Von Kontaminationsrisiko zu 1.500 BPH: Eine kundenspezifische Abfüllanlage für Chemikalien in Halbleiterqualität

Schnappschuss des Projekts

Die Herausforderung

Um die Produktion von Halbleiterreinigungsflüssigkeiten zu vergrößern, bedarf es nicht nur der Anschaffung von mehr Maschinen, sondern zunächst drei miteinander verbundene Probleme:

• Kontamination auf dem nassen Weg.Standard-Füllmaschinen verwenden Materialien, die mit den Reinheitsanforderungen von Chemikalien für die Waferverarbeitung unvereinbar sind.Jede Partikel- oder Kreuzkontamination am Füllpunkt gefährdet nachgelagerte Halbleiterprozesse.
• Unvereinbare Füllgewichte in einer breiten Flaschenpalette.Das Produkt wird in Flaschen mit unterschiedlichen Größen gefüllt.
• Das manuelle Handling zwischen den Stationen hat Engpässe verursacht.Die Lager, Füllung, Verschluss, Inspektion und Verpackung wurden physisch getrennt.

Unsere Lösung

Wir haben die komplette Linie um das Durchsatzziel und die Reinheitsspezifikation des Kunden herum entworfen und jede Maschine als Teil eines einzigen integrierten Systems behandelt.

• Kontaminationskontrollierte Füllung.Ein DurchflussmesserFüllmaschine mit vollständigem Produktkontakt aus Edelstahl 304 und flexiblen Schlauchanschlüssen für Lebensmittel wurden ausgewählt.Elimination des Eintritts von Partikeln. ± 0,5% Füllgenauigkeit über den gesamten Bereich von 1 ‰ 5 L ohne mechanischen Wechsel zwischen den Formaten erhalten.
• Kontinuierliche, vollautomatisierte Beförderung.Ein 1000 L SUS316 Pufferbehälter mit automatischer Nachfüllung versorgt den Füllkörper ohne Eingreifen des Bedieners.Ketten- und RollenförderanlageDie von Jinlong-Motoren mit Danfoss VFDs angetriebenen Anlagen verbinden jede Station ­ und eliminieren die manuelle Handhabung zwischen Befüllung, Verkleidung, Inspektion und Verpackung.
• 100% Qualitätskontrolle.Eine Blickmaschine mit doppelten Basler-Industriekameras überprüft jede Flasche auf Verschlussdichte, fehlende Verschlüsse und Flüssigkeitsgehalt ∙ Nichtkonforme Flaschen werden automatisch abgewiesen.Ein nachgelagerter Prüfschwerer bestätigt, dass jeder verpackte Koffer die richtige Anzahl von Flaschen enthält, bevor er auf Paletten verpackt wird.
• End-to-End-Verpackungsintegration.Eine automatische Schachtelöffner,Verpackung, Verdichter undPalettiererSchließen Sie die Leitung von der Wellpappe auf den auf Paletten gestapelten Karton ohne manuelles Eingreifen.

Ergebnisse

Die Leitungsleistung erreichte das Konstruktionsziel1,500 Flaschen/Stunde¢ durch ein integriertes Layout erreicht, das alle manuellen Übertragungen zwischen den Stationen eliminiert.

Füllgenauigkeit bei± 0,5%die gesamte Flaschenpalette umfasst, so dass die Umarbeitung des Nettogewichts vermieden wird.

Bei der Bewässerung des Wasserabschnitts mit der Konstruktion von 304 SS und den PLC-Verriegelungen wurden keine Kontaminationsvorfälle festgestellt, die die Reinheitsanforderungen für Halbleiter erfüllten.

Die Zahl der Bediensteten pro Schicht verringerte sich, da die manuelle Qualitätskontrolle an den Abfüllstationen durch die Sichtprüfung und die automatisierte Ablehnung ersetzt wurde.

Häufig gestellte Fragen

F1: Welche Materialien werden für den Produktbefeuchtungsweg verwendet?

Alle mit der Flüssigkeit in direktem Kontakt befindlichen Oberflächen sind aus Edelstahl 304 oder einem flexiblen Schlauch der Lebensmittelqualität P. Der Pufferbehälter ist voll mit SUS316 mit einem rotierenden Kugel-CIP-System.Diese Auswahl entspricht dem Reinheitsstandard für die chemische Verteilung in Halbleiterqualität.

F2: Kann die Linie mehrere Flaschengrößen ohne Wechsel aufnehmen?

Ja. Der Durchflussmesserfüllgerät behandelt Flaschen mit einem Durchmesser von Φ40 bis Φ160 mm und füllt von 1 bis 5 L in derselben Konfiguration.keine mechanische Umstellung innerhalb dieses Bereichs erforderlich ist.

F3: Wie wird der Durchsatz nach der Installation angepasst?

Das gesamte Fördernetz verwendet Danfoss-Variable-Frequenz-Antriebe, die es ermöglichen, die Liniengeschwindigkeit von einem zentralen Steuerungspunkt aus ohne mechanische Änderungen einzustellen.Die Füll- und Deckelmaschinen sind beide auf ≤ 1 eingestuft,500 BPH, so dass Sie bei niedrigeren Geschwindigkeiten während des Aufstiegs oder des Formatwechsels laufen können.

Benötigen Sie eine benutzerdefinierte Fülllinie für hochreine oder spezielle Chemikalien?

Unser Ingenieursteam entwirft komplette Füll- und Verpackungssysteme, die auf Ihr Produkt, Ihre Containerpalette, Ihr Durchsatzziel und Ihr Anlagenlayout zugeschnitten sind. Von der ersten Skizze bis zur Inbetriebnahme vor Ort.

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